Sputtering materials for VLSI and thin film devices /
Guardat en:
| Autor principal: | |
|---|---|
| Format: | Electrònic eBook |
| Idioma: | anglès |
| Publicat: |
Oxford ; Boston :
William Andrew Publishing,
2014.
|
| Edició: | First edition. |
| Matèries: | |
| Accés en línia: | Click to View |
| Etiquetes: |
Afegir etiqueta
Sense etiquetes, Sigues el primer a etiquetar aquest registre!
|
| Descripció física: | 1 online resource (614 pages) : illustrations |
|---|---|
| Bibliografia: | Includes bibliographical references and index. |
| ISBN: | 9780815519874 |